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在半导体行业,产品小型化趋势一直推动集成电路封装向更快更密集的方向发展,以此保证更高的性能和效率;尽管受制于当前技术的局限性,但伴随技术发展终究会取得突破。尤其在半导体制造的后段,互连、封装和测试各个制程都在持续小型化,对质量的要求也在不断提高。除了半导体元件制造之外,纳米技术还为半导体工艺对传统材料的应用开辟了全新的领域。Solarius的测量技术不断创新发展,紧随小型化的脚步,为业界提供符合当前需求的测试技术和服务,确保对微纳米结构的稳定表征。
特别是,半导体元件的直接键合和3D堆叠使得蚀刻和沉积的结构尺寸变的更小。因此对光学计量提出了更高的要求。由于受到物理边界的限制,如何通过传感器和系统硬件设计制造的创新突破这些限制,是光学计量行业当前最大的挑战。Solarius在大范围关键尺寸计量光学技术方面不断创新,为晶圆和面板行业大批量制造提供稳定快速的支持。
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