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Polaris Accuracy and precision down to the nanometer

用于复杂表面上最苛刻测量任务的高端三维表面计量

Solarius新的Polaris桌面三维表面测量系统能够实现对表面的高度精确的3D成像。Polaris和Polaris Plus的精度和准度是一样的,但Polaris提供给许多应用的一个灵活的成本管控。Polaris Plus由于其广泛的设备扩展了应用程序的范围,尤其支持测量任务的简单自动化。

  • 最高的光学和数字分辨率
  • 衍射极限成像
  • 可靠的科技
  • 符合ISO的粗糙度值
  • 非接触式测量
  • 成熟免维护

Solarius Polaris三维测量系统是基于多年来证明的旋转盘共焦技术。在光学的设计和计算中,光学系统的物理最优衍射极限是非常重要的,它允许精确、精确和可重复的横向测量,甚至在一微米以下的结构区域也是如此。

传感器类型共聚焦区域传感器
干涉区域传感器
平面工作范围150 mm x 150 mm
垂直工作范围400 µm 至 100 mm
平面分辨率70 纳米
垂直分辨率1 纳米
供货范围 传感器根据规格配置
S系统PC和控制单元
Solar ScanNT软件,Win10 x64
Solar Map数据分析软件
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应用在代表性领域

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消费性电子

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表面特征

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汽车工业

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晶片生产

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BGA

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