Atlas是应用于品保和过程控制的独立模块化表面3D测量设备。基于用户的的具体需求,Atlas可配备不同类型3D表面测量传感器,从而使其成为满足各种测量要求的理想设备。基于Atlas强大的灵活性,各种不同的材料以及复杂的几何结构都能被精确扫描。Atlas的软件系统支持生产环境下的自动化与高效测量。白光干涉传感器支持超高速测量,以平面4um的分辨率130毫秒抓取80000点。
- 定制的程式,易于自动化操作
- 极速测量
- 灵活多样的传感器配置
- 大测量平台
- 灵活的数据分析工具
采用点共聚焦、线共聚焦、干涉测量或三角测量技术的传感器,其最大高度分辨率范围在1nm~200 um之间,Atlas软件解决方案结合了两个软件工具:测量程式生成工具和灵活的分析工具。这种独特的组合应用在研究和开发非常完美,故障分析和半自动测量。
传感器类型 | 彩色共聚焦点传感器 彩色共聚焦线传感器 白光干涉传感器 三角线传感器 |
平面测量范围 | 最大400mm x 400mm |
垂直测量范围 | 100 µm 至 80 mm |
平面分辨率 | 最大1um |
垂直分辨率 | 最大1纳米 |
供货范围 | 标准系统 轴及控制器 根据规格配置传感器 系统PC,笔记本电脑 Solar Scan NT软件,Win10 x64 Solar Map数据分析软件 |