3D 두께 측정 및 연료 전지 어플리케이션
기계 공학, 에너지 기술, 반도체 산업 또는 소비자 가전 분야에서 재료와 제품의 지속적인 개발은 반제품 및 완제품을 모니터링하는 더 빠르고 정확한 가능성을 필요로 합니다. Solarius는 가능한 모든 제품의 두께를 측정할 수 있는 포괄적인 포트폴리오를 제공하고 테스트 물체의 상단과 하단을 동시에 측정할 수 있는 기계인 AOP Thickness를 개발했습니다. 두 면에서 두께와 형상을 감지할 수 있는 기능은 지지대의 변형과 그로 인한 표본 홀더와의 불균일한 접촉으로 인한 오류를 방지합니다. 테스트 대상 장치의 상단면과 하단면의 지형을 동시에 측정하여 샘플의 모든 지점에 대한 두께 값을 산출할 뿐만 아니라 플라이트, 평행도 및 각 면의 기하학적 값을 평가할 수 있습니다.
연료 전지 형상
연료 전지의 양극판은 반응물과 반응 생성물의 공급과 추출에 사용되며, 따라서 에너지 공급에 필수적인 요소입니다. 공급과 방출의 정확한 비율은 반응물의 특정한 체류 시간을 초래하며, 이는 채널의 형상에 의해 결정되는데 이는 연료전지가 제대로 기능하려면 형상 점검이 필수적이라는 의미입니다. 이 검사는 양극판 양쪽의 지형을 동시에 측정하는 Solarius의 연료 전지 측정 장치로 수행할 수 있습니다. 소프트웨어는 사전 정의된 측정 지점에서 평가를 수행하고 명확한 양호/불량 결정을 내립니다.
Especially for R&D and introductory manufacturing purposes, also the gas layer conditions are of essential interest. 3D optical surface metrology systems allow a detailed view on geometry, structure, texture, roughness and many other technical parameters as well as allow the examination of defects and the conditions of their origination.
Wafer TTV & 투명코팅두께
이상적인 웨이퍼는 완벽한 평면 평행 평면 디스크입니다. 실제로는 이미 기본 웨이퍼에서 생산 관련 편차가 발생하고 있습니다. 이 총 두께 변동(TTV)은 이후의 모든 프로세스 단계에 영향을 미치므로 웨이퍼 보우 및 워프뿐만 아니라 여러 프로세스 단계를 거쳐야 모니터링해야 합니다.
광학적으로 투명한 소재는 두께를 결정하기 위해 한쪽을 평평하게 하거나 양쪽에서 동시에 측정할 필요가 없습니다. 공초점 측정 기술과 굴절률 지식으로 상·하부 표면의 지형을 동시에 측정하고 두 표면의 차이에서 시료의 두께를 결정할 수 있습니다. 이 원리는 코팅이나 글라스 뿐만 아니라 모든 종류의 포일에도 동일하게 적합합니다.
