Quality monitoring for wafer level optics
영상이픽셀로 분할되는 경우, 투영 또는 검출에 관계없이 사진 또는발광 다이오드가 사용됩니다. 그러나 각 픽셀의 면적은 다이오드에의해서만 결정되는 것이 아니라 필요한 모든 부품의 전체 설치 공간에의해서 결정되도록 하기 위해 항상 추가적인 전자 장치가 필요합니다. 총 크기에 대한 다이오드 크기의 비율을 충진율이라고 하며 카메라의신호 품질과 신호 대 잡음비의 결정적 기준이 됩니다. 따라서 추가구성 요소를 줄이거나 다이오드에 조명 을 집중시켜 높은 충진율을달성할 수 있습니다.
예를들어 디스플레이의 지문 센서 통합과 같은 여러 기능을 하나의기기에 통합하면 단일 기기 내의 다른 위치에서 또는 다른 위치로복잡한 경로로 빛을 보내야 하며 , 필터와 렌즈를 사람의 눈으로 더이상 알아볼 수 없는 작은 패키지로 결합함으로써 가능하게 합니다. 이러한방식으로 마이크로 렌즈는 새로운 기술과 응용 프로그램을만드는 것뿐만 아니라 포토다이오드와 프로젝터를 대량 생산할 수있도록 합니다. 뿐만 아니라 마이크로 렌즈는웨이퍼 레벨로도 사용이가능합니다. 오늘날광학계는 마이크로미터 범위에서 생산되며 렌즈는 산업적으로 테스트된반도체 기술을 통해 직접 제조됩니다. 이러한 접근법이 집적된 반도체에서 빛이전류를 대체하기까지 합니다.
소형화된구조를 대량으로 정밀하게 제조하기 위해서는 공정 품질 모니터링이필요하며 , 재료의 구성 외에도 렌즈의 형태는 광학적 성질에 결정적인 역할을합니다. 접촉식 측정 방법은 측정 시간이 길기 때문에 측정 가능한 범위가 제한되어있으며, Solarius 의 Concocal Microscope 는 다른 시스템과는 달리 투명하고 간섭과굴절을 일으키는 어려운 구조의 렌즈 형상을 이상 없이 스캔하여 분석할 수있습니다.
마이크로-렌즈는 투명하고 간섭과 굴절을 일으키기 때문에 광학 시스템으로 측정이 어렵습니다. Solarius의 공초점 시스템은 다른 시스템과는 달리 마이크로-렌즈에 대한 측정이 가능합니다.
SEMI-Wafer 처리 유저인터페이스는 wafer 핸들링 및 측정워크플로우를 위한 편리한 기능을 제공합니다. 사용자의 편의와 쉬운 사용을 위해 wafer 및 패널 형태의 기판에 대한 멀티-프로젝트 Grid 기반의 레시피, 사양 정의 및 품질 관련 결과 표시 등을 보여줍니다.
Display 지문 센서
요즘의거의 모든 스마트폰에는 초음파 또는 광학을 이용한 지문 센서가장착된 디스플레이가 포함되어 있습니다. OLED디스플레이가 사용되는 스마트폰은 광학을 이용한 지문 센서가대부분 사용되지만, 초음파를 이용한 센서가 구현이 더 쉬우며비용적으로도 더욱 효율적입니다. Display 지문 센서는 현대디스플레이의 이미 복잡한 구조 내에 필요한 추가 기능을 제공할 수있으며 , 동일한 화면으로 정보를 표시하는 등 서로 다른 기능을 사용할수 있도록 하려면 세밀한 마이크로 렌즈와 필터 구조가 안정적으로제작돼야 합니다. Solarius 3D 도량형은 제조 공정 전반에 걸쳐 마이크로렌즈의 대용량 검사를 가능하게 합니다.
렌즈의형상, 광축, 불순물및 결함
지름, 가장자리 길이 , 곡률 및 타원성은 렌즈의 모양과 광학적 특성을결정합니다. 유리의 투과성 때문에 광학 기술로 표면을 직접측정하는 것이 어렵다는 것이 입증되었습니다. 그러나, 강력하고매우 역동적인 공초점 센서와 Solarius 의 지능형 이미지 처리솔루션으로 , 투명한 표면도 나노미터 정확도로 쉽게 측정할 수있습니다.
높은수, 밀도, 작은 크기 때문에 배열 내에서 마이크로 렌즈를정렬하는 것은 일반적으로 기술적으로 불가능하기 때문에 렌즈정렬은 생산 중에 이루어져야 합니다 . 각각의 개별 렌즈의기울기로부터 광축과 정렬을 추론할 수 있습니다. 생산 환경에 대한솔라리우스 측정 시스템의 높은 근접성으로 생산 이슈를최소화하는 단기 공정 적응이 가능하다.
렌즈배열은 모든 구성 요소가 원활하게 작동해야 하며 또한 각각의 렌즈의위치가 얼마나 잘 잡혀있는지에 따라 달라집니다렌즈는 구성 요소에서 서로 상대적으로 그리고 전체적으로 유지됩니다. 마이크로렌즈의 위치를 파악하여 목표 위치와 비교할 수 있습니다. 이렇게하면 마이크로 렌즈 배열이 올바른 이미지를 생성할 수 있습니다.