Durch die optische 3D Oberflächenmessung, welche eine Auswertung von 2D Profilserien zunehmend ersetzt, werden aussagekräftigere Rauheitskennwerte nach ISO 25178 für die Bestimmung von Oberflächen anwendbar. Das Solarius Polaris bietet die ideale Kombination aus Auflösung und Geschwindigkeit um die Anforderungen an die 3D Messung zu erfüllen.

Rauheit, ermittelt aus 2D Profilmessungen ist ein etablierter Parameter zur Beschreibung der Ebenheit von Oberflächen. Die Bewertung nach ISO 4287 liefert standardisierte Werte für die Rauheit von technischen Oberflächen. Das Solarius Viking ist ein effizientes Profilometer zur normkonformen, optischen Erfassung von 2D Profilen auf verschiedensten Oberflächen.

Das 3D Messen von Form und Kontur ist mehr als das Messen von Entfernungen und Höhen. Es ist die genaue Bestimmung kontinuierlicher geometrischer Größen wie Krümmung, Winkel, Durchmesser und Textur. Die ungewöhnlich schnellen Solarius Atlas Systeme ermöglichen mit interferometrischen Sensoren robuste 3D-Messungen in wenigen Millisekunden.

Das Erkennen und Vermessen von Partikeln in 3D vermeidet beispielsweise ein Durchstoßen dünner Schichten beim Stapeln funktionaler Komponenten. Partikel werden getrennt vom Untergrund in Verteilung, Ausdehnung und Höhe gemessen. Durch eine sehr hohe 3D Auflösung erkennen Solarius Polaris Systeme kleinste Partikel schnell und zuverlässig.

Im Grunde einfache 2D Abstandsmessungen werden kompliziert, wenn Dimensionen in der Tiefe von Strukturen erfasst werden müssen. Die 3D Vermessung von Abständen zwischen Punkten, Linien oder Ebenen auf komplexen Oberflächenformen kann mit verschiedenen Solarius Standardprodukten individuell konfiguriert und berührungslos erfolgen.

Das Messen von Volumen und Hohlräumen geht zurück auf das Bestimmen von Topografie in räumlichen Dimensionen und Integrieren der Messdaten zu Volumina. Individuell abhängig von Anforderungen an Geschwindigkeit und Genauigkeit markieren Solarius Atlas und Solarius Polaris 3D Messsysteme die Spannweite idealer Funktionalität.

Eine Fläche wird über eine gegebene Länge als gerade bezeichnet, wenn die Abweichung des Abstands ihrer Punkte von zwei senkrecht zueinander stehenden, parallel zur Richtung der Linie liegenden Ebenen innerhalb einer Toleranzgrenze bleibt. Für die Bestimmung von Geradheit eignen sich insbesondere die modular anpassbaren Solarius AOP Systeme.

Höhenunterschiede können anhand zweier oder mehrerer "Stufen" gemessen werden, von welchen eine als Bezugsebene dient. Die Höhe der Stufen kann aus einzelnen Punkten, Profilen oder Oberflächen abgeleitet werden. Die kosteneffizienteste Methode präzise 2D und 3D Höhenmessungen zu erhalten sind die Varianten der Solarius Viking Profilometer.

Die Kornanalyse ist ein Teil der mechanischen Verfahrenstechnik, die eng verbunden mit den Materialwissenschaften ist. Primäres Ziel der Korngrößenanalyse ist die Bestimmung der vorherrschenden Korngrößenverteilung. Ideale Werkzeuge zur Erfassung dieser Parameter sind die Solarius Polaris 3D Mikroskope mit ihrer hohen Dynamik und Auflösung.

Ebenheit ist die Eigenschaft einer Oberfläche frei von Erhöhungen und Vertiefungen zu sein. Messtechnisch wird Ebenheit durch die von zwei parallelen Ebenen, jeweils unterhalb und Oberhalb der Oberfläche, eingeschlossene Toleranz definiert. Geeignete 3D-Messtechnik für diesen Zweck bieten Solarius Atlas und Solarius AOP Systeme.

Transparente Schichten finden sich z.B. in Anwendungen in der Automobil-, Halbleiter- und Medizinindustrie. Sie werden meist durch Beschichtungs- oder Abscheidungsprozesse erzeugt. Ihre Funktion hängt von Dicke, Homogenität und Dickenschwankung ab. Die Solarius Polaris Systeme liefern genaueste 3D Messergebnisse von Schichtdicken.

Während Drahtbonden die ideale Methode für hoch belastete Verbindungen bei der Montage von Halbleitern bleibt, sind Ball Grid Arrays (BGAs) für Verbindungen zwischen Halbleiter Elementen unverzichtbar geworden. Die spezialisierte Solarius SEMI BGA Inspektion prüft Koplanarität, Durchmesser, Position und Vollständigkeit der BGA Elemente.

Die Welligkeit bestimmt, neben der Rauheit einer Oberfläche, ihr Erscheinungsbild, ganz besonders bei Lackierungen. Bei Oberflächen mit mechanischer Funktion ist die Welligkeit zudem wesentlich für die Lebensdauer und Präzision der Komponenten. Solarius Atlas 3D Messsysteme ermöglichen die Prüfung von Welligkeit auf verschiedensten Objektgrößen.

Die Funktion von integrierten Systemen hängt von der genauen Positionierung elektronischer und mikromechanischer Bauteile ab, deren Positionen relativ zueinander oder absolut bestimmt werden müssen. Bei der Bauteil Positionierung überzeugt die Geschwindigkeit der Atlas 3D Inspektion, in der Mikromechanik besticht die Genauigkeit der Polaris Systeme.

In Wissenschaft und Industrie werden Nano Geometrien häufig mit komplexen Methoden wie der Raster Elektronen Mikroskopie charakterisiert. Optische 3D Messverfahren wie die Interferometrie oder die konfokale Mikroskopie, verfügbar bei den Solarius Polaris Produkten, bieten eine vielfach einfachere und kosteneffektive Alternative.

High-Tech Bauteile, die durch das Stapeln von Komponenten hergestellt werden, wie zum Beispiel Brennstoffzellen, 3D Wafer Packages und Interposer, erfordern enge Toleranzen und geringe Variationen von Dicken (TTV). Die Solarius AOP Thickness Systeme erlauben eine genaue und zuverlässige 3D Vermessung dieser prozesskritischen Parameter.

Um technische Oberflächen dauerhaft mit der richtigen Menge Öl zu benetzen oder um die Anhaftung der richtigen Menge Farbe in Tiefdruck Verfahren sicherzustellen ist die Einbringung von bestimmten Vertiefungen und Geometrien in Oberflächen entscheidend. Solarius Polaris 3D Messungen erlauben eine exakte Berechnung solcher Leervolumina.

Parallelität beschreibt die Abweichung im Positionsverhältnis zweier Flächen. Sie wird als die maximale Abweichung einer Ebene zu einer im Idealfall parallel zur Bezugsebene liegenden Ebene verstanden. Die Solarius Atlas 3D Inspektion erlaubt die großflächige Bestimmung von Parallelität mittels konfokaler Sensoren, Triangulation oder Interferometrie.

Technische Oberflächen können absichtlich wie unabsichtlich Poren aufweisen welche, abhängig von ihrer jeweiligen Größe, die Eigenschaften einer Obefläche definieren. Solche Poren können mit optischen 3D Messungen, beispielsweise mit Solarius Polaris systemen, in lateraler und vertikaler Ausdehnung sowie Verteilung erfasst werden.

Oberflächentexturen weisen zum Teil bewusst Vorzugsrichtungen in ihrer Strukturierung auf oder es wird versucht, diese zu vermeiden. In beiden Fällen kann die Anwesenheit bzw. die Geometrie und Ausprägung solcher Texturen mittels der Verwendung von 3D Messungen mit verschiedenen Solarius 3D Inspektions Systemen zuverlässig bestimmt werden.

Eine Defekterkennung sucht Allgemein nach Fehlern einer Oberfläche oder einer Geometrie. Dies können Kratzer, Risse, Ausbrüche, Anhaftungen, Ablagerungen und andere Strukturfehler sein. Die verschiedenen Solarius 2D und 3D Inspektions Systeme finden schnell und zuverlässig auch kleinste Defekte auf nahezu allen Materialien.