Anwendungen und Lösungen für die Halbleiterindustrie
Der anhaltende Trend zur Miniaturisierung erfordert von der Halbleiterindustrie seit jeher schnellere und kompakter integrierte Schaltungen mit ständig steigender Leistung und Effizienz. Obwohl die physikalischen Grenzen der Machbarkeit in greifbare Nähe rücken, schreitet die Entwicklung der Schaltungen stetig voran. Die Nachfrage nach hohen Schaltungsdichten und kleinsten Abmessungen treibt weiterhin die Miniaturisierung der Verbindungstechnik bei steigenden Anforderungen an Qualität und Zuverlässigkeit voran. Neben der reinen Herstellung von Halbleiterbauelementen eröffnet auch die Nanotechnologie neue Anwendungsbereiche für klassische Materialien, die in Halbleiterprozessen verarbeitet werden. Die innovative Entwicklung der Solarius Technologien sorgt für die richtige Messtechnik zur richtigen Zeit.
Insbesondere die Direktbondverfahren und die 3D Integration von Halbleiterelementen führen dazu, dass geätzte und abgeschiedene Strukturen auch weiterhin immer kleiner werden. Damit steigen auch die Anforderungen an die optische Messtechnik. Da diese an physikalische Grenzen gebunden ist, stellen innovative Ideen, wie diese Grenzen bei der Entwicklung und Herstellung von Sensor- und Systemhardware am besten erreicht werden können, die aktuelle Herausforderung für die optische Messtechnik dar. Solarius investiert konsequent in Innovation und Entwicklung um optische Technologien für ein breites Spektrum kritischer Dimensionen zur Verfügung zu stellen stellen und eine stabile und schnelle Großserienfertigung auf Wafer- und Panel-Ebene zu unterstützen.
